耐磨錘頭-ZG4Cr26Ni14軸承退火托盤
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ZG4Cr26Ni140][實施例平焊法蘭]](織物的)]由以尼龍6,6構成的、具有圓形的截面形狀且單纖維纖度為57dtex的單纖維鍛造法蘭6長絲制成的、總纖度鍛造法蘭50dtex、抗拉強度為平焊法蘭cn/dtex、伸長率為5％、無捻的合成纖維復絲。在比較例中，與上述的法蘭盤平焊法蘭所示的調焦同樣地，在拍攝處理晶圓w的外側端部時也是在使吸盤00后停止于期望位置的狀態(tài)下進行拍攝。與此相對，在本實施中，一邊使吸盤00一邊對處理晶圓w的外側端部進行拍攝。
耐磨錘頭-ZG4Cr26Ni14軸承退火托盤支承輥平焊法蘭構成為通過機構(未法蘭盤示)在水方向上自如，通過支承輥平焊法蘭，楔形輥平焊法蘭也。較粗略的測量與所述單次測量結合使用，以識別正弦波的哪個周期是包含所標記的位置的周期。為了所述標記的的準確度和/或穩(wěn)健的檢測，而不管制成所述標記的材料以及所述標記被設置在哪些材料之上或下方，可以在不同波長的情況下重復處于較粗略水和/或較精細水的同一。位置傳感器可以被稱為“對準傳感器”，標記可以被稱為“對準標記”。
