鍍膜靶材是NCVM不導(dǎo)電的關(guān)鍵之一,材料的選擇有:銦、鉻、錫等,車標(biāo)的鍍膜材料有銦、銀等連續(xù)性較差的金屬;
膜厚的控制:
膜厚的控制上,不連續(xù)膜的厚度較;據(jù)了解,銀膜厚度一般在5納米以下是不導(dǎo)電,錫膜厚度在30納米以下,連續(xù)性差。
鍍膜設(shè)備:
金屬在鍍膜過程中容易氧化發(fā)黑,需要快速鍍膜,鍍膜加工過程的把控及設(shè)備的選擇都很關(guān)鍵關(guān)鍵。
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