液壓伺服閥包括：滑閥式伺服閥、噴嘴擋板式伺服閥、射流管式伺服閥。
滑閥式伺服閥：采用動(dòng)圈式力馬達(dá)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，功率放大系數(shù)較大，滯環(huán)小和工作行程大；固定節(jié)流口尺寸大，不易被污物堵塞；主滑閥兩端控制油壓作用面積大，從而加大了驅(qū)動(dòng)力，使滑閥不易卡死，工作可靠。
噴嘴擋板式伺服閥：該伺服閥，由于力反饋的存在，使得力矩馬達(dá)在其零點(diǎn)附近工作，即銜鐵偏轉(zhuǎn)角θ很小，故線性度好。此外，改變反饋彈簧桿11的剛度，就能在相同輸入電流時(shí)改變滑閥的位移。該伺服閥結(jié)構(gòu)緊湊，外形尺寸小，響應(yīng)快。但噴嘴擋板的工作間隙較小，對(duì)油液的清潔度要求較高。
射流管式伺服閥：對(duì)油液的清潔度要求較低。缺點(diǎn)是零位泄漏量大；受油液粘度變化影響顯著，低溫特性差；力矩馬達(dá)帶動(dòng)射流管，負(fù)載慣量大，響應(yīng)速度低于噴嘴擋板閥。
由永磁動(dòng)圈式力馬達(dá)、一對(duì)固定節(jié)流孔、預(yù)開(kāi)口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級(jí)組成。前置控制滑閥的兩個(gè)預(yù)開(kāi)口節(jié)流控制邊與兩個(gè)固定節(jié)流孔組成一個(gè)液壓橋路�；y副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達(dá)的動(dòng)圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內(nèi)滑動(dòng)。前置級(jí)的閥套又是功率級(jí)滑閥放大器的閥心。
一、輸入控制電流使力馬達(dá)動(dòng)圈產(chǎn)生的電磁力與對(duì)中彈簧的彈簧力相平衡，使動(dòng)圈和前置級(jí)（控制級(jí)）閥心（控制閥芯）移動(dòng)，其位移量與動(dòng)圈電流成正比。前置級(jí)閥心（控制閥芯）若向右移動(dòng)，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側(cè)控制口·面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級(jí)滑閥閥心（即前置級(jí)的閥套）的兩端上，使功率級(jí)滑閥閥心（主滑閥）向右移動(dòng)，也就是前置級(jí)滑閥的閥套（主滑閥）向右移動(dòng)，逐漸減小右側(cè)控制孔的面積，直至停留在某一位置。在此位置上，前置級(jí)滑閥副的兩個(gè)可變節(jié)流控制孔的面積相等，功率級(jí)滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使功率級(jí)滑閥閥心跟隨前置級(jí)滑閥閥心運(yùn)動(dòng)，功率級(jí)滑閥閥心的位移與動(dòng)圈輸入電流大小成正比。