氣體傳感器種類

半導(dǎo)體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型結(jié)型、MOSFET型、電容型。電阻型氣敏器件是氣體分子引起敏感材料電阻變化；非電阻型氣敏器件有Ms二極管和結(jié)型二極管以場(chǎng)效應(yīng)管MSFET，它利用敏感氣體會(huì)改變MOSFET開啟電壓，其與ISFET離子敏傳感器件相同。

氣體傳感器樣式

1、靈敏度

當(dāng)氫氣濃度較低時(shí)，氫氣敏MOSFET靈敏度很高，1ppm氫氣濃度變化，△UT值可10mV，當(dāng)氫氣濃度較高時(shí)，傳感器靈敏度會(huì)降低。

2、對(duì)氣體性

鈀原子間“空隙”恰能讓氫原子通過(guò)，因此，鈀柵只允許氫氣通過(guò)，有很性。

3、響應(yīng)時(shí)間

這種器件響應(yīng)時(shí)間受溫度、氫氣濃度影響，溫度越高，氫氣濃度越高，響應(yīng)越快，常溫下響應(yīng)時(shí)間為幾十秒。

氣體傳感器定做

可見，在一定溫度下，固定PO21，有上式可出傳感器極待測(cè)氧氣濃度。除測(cè)氧外，β一Al2O3、碳酸鹽、NASICON等固體電解質(zhì)傳感器，還可用來(lái)測(cè)CO、SO2、NH4等氣體。近年來(lái)還出現(xiàn)銻酸、La3F等可在低溫下氣體傳感器，并可用于正離子。

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