半導(dǎo)體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型結(jié)型、MOSFET型、電容型。電阻型氣敏器件是氣體分子引起敏感材料電阻變化;非電阻型氣敏器件有Ms二極管和結(jié)型二極管以場(chǎng)效應(yīng)管MSFET,它利用敏感氣體會(huì)改變MOSFET開啟電壓,其與ISFET離子敏傳感器件相同。
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結(jié)工藝。以多孔SnO2為基底材料,再添加不同其他物質(zhì),用制陶工藝燒結(jié)而成,燒結(jié)時(shí)埋入加熱和測(cè)量電極。此外,也蒸發(fā)和濺射等工藝制成薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動(dòng)態(tài)特性。
固體電解質(zhì)是具有與電解質(zhì)水溶液相同離子導(dǎo)電特性固態(tài)物質(zhì),當(dāng)用作氣體傳感器時(shí),它是。它無(wú)需使氣體經(jīng)過(guò)透氣膜溶于電解液中,避免溶液蒸發(fā)和電極消耗等。由于這種傳感器電導(dǎo)率高,靈敏度和性,幾乎在石化、環(huán)保、礦業(yè)、食品等各個(gè)都得到廣泛,其僅次子金屬—氧化物一半導(dǎo)體氣體傳感器。
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