在SnO2材料內(nèi)摻雜是改善傳感器性,添加Pt、Pd、Ir等貴金屬不僅能有效地提高元件靈敏度和響應(yīng)時(shí)間,而且,催化劑不同,導(dǎo)致不同吸附傾向,從而改善性。例如在SnO2氣敏材料中摻雜貴金屬Pt、Pd、Au提高對(duì)CH4靈敏度,摻雜Ir可降低對(duì)CH4靈敏度,摻雜Pt、Au提高對(duì)H2靈敏度,摻雜Pd降低對(duì)H2靈敏度。
非電阻型也是一類較為常見半導(dǎo)體氣敏器件,這類器件方便,無(wú)需設(shè)置溫度,易于集成化,得到廣泛。有結(jié)型和MOSFET型兩種。
氣敏二極管特性曲線左移看作二極管導(dǎo)通電壓發(fā)生改變,這一特性如果發(fā)生在場(chǎng)效應(yīng)管柵極,將使場(chǎng)效應(yīng)管閾值電壓UT改變。利用這一制成MOSFET型氣敏器件。
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