用激光干涉儀測量定位誤差,如圖所示。由于部分機床的回轉(zhuǎn)軸安裝在工作臺面以下日本HD激光回轉(zhuǎn)諧波CSG-45-160-2UH ,其回轉(zhuǎn)軸的運動精度只能在機床裝配時進行測量和改善。單項檢測法只能實現(xiàn): 使用激光干涉儀和反射鏡組測量回轉(zhuǎn)軸的角度定位精度
球桿儀法是ISO 230-1中推薦的一種方法,1982年,J BBRYAN在日本HD激光回轉(zhuǎn)諧波CSG-45-160-2UH美國Lawrence Livermore國家實驗室,首先開發(fā)出了用于快速檢測數(shù)控機床運動誤差的球桿儀&球桿儀由兩個精密金屬圓球和一個可伸縮連桿組成,在連桿中間鑲嵌著用于檢測位移的光柵尺,如圖 . 所示&測量時,一個圓球通過磁性鋼座固定日本HD激光回轉(zhuǎn)諧波CSG-45-160-2UH工作臺上,另一個圓球通過同樣的裝置安裝在主軸上