厚度模式是一個附加的測量模式，專門用來測量透明樣品的厚度。
這種模式下傳感器同時測量透明樣品兩面的位置，然后通過兩個位置的不同計算出厚度。測量厚度比測量位移更難，精確度也下降。厚底測量也受一些限制。為了獲得在該模式下的計量性能，應該執(zhí)行一個特殊的叫做“厚度校準”的程序。厚度校準是用戶來執(zhí)行的。這個過程需要一個厚度標準。
測量數(shù)據(jù)
在樣品的每一個點傳感器都要同時測量幾個數(shù)據(jù)。 在位移測量模式下測量數(shù)據(jù)有：
√被測樣品點的距離
√反回的散射光束的光強
在厚度模式下測量數(shù)據(jù)有：
√樣品第一個面的距離和光強
√樣品第二面的距離和光強
√厚度
除了測量數(shù)據(jù)外傳感器還傳出一些附加數(shù)據(jù)（計數(shù)，狀態(tài)……）
傳感器可以設(shè)置傳輸一些或全部這些數(shù)據(jù)