什么是潔凈隧道
以兩條層流工藝區(qū)和中間的亂流操作活動(dòng)區(qū)組成隧道形潔凈環(huán)境的凈化處理方式叫潔凈隧道.這是全室凈化與局部?jī)艋嘟Y(jié)合的典型,是目前推廣采用的凈化方式,也被稱之為第三代凈化方式.
按照組成潔凈隧道的設(shè)備不同,潔凈隧道可分為以下幾種形式.
(1)臺(tái)式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是將潔凈工作臺(tái)相互連接在一起,并取消中間的側(cè)壁,組成生產(chǎn)需要的隧道型生產(chǎn)線.當(dāng)工藝要求垂直層流時(shí),可選用垂直層流工作臺(tái).當(dāng)工藝要求水平層流時(shí),則選用水平層流工作臺(tái).這種凈化方式較全室凈化更易保證局部空間的高潔凈度,并由于工作臺(tái)相互連接,可以減少或防止交叉污染.此外,對(duì)建筑的要求比較簡(jiǎn)單,只要求具備亂流潔凈室的環(huán)境即可.其缺點(diǎn)是潔凈工作臺(tái)的尺寸固定,使操作面缺乏足夠的靈活性,工藝設(shè)備必須適應(yīng)工作臺(tái)的尺寸,調(diào)整起來(lái)也不大方便.
(2)棚式潔凈隧道 (見圖)
這種形式的潔凈隧道是將潔凈棚,即棚式垂直層流單元串聯(lián)在一條生產(chǎn)線上所組成的.根據(jù)工藝要求,潔凈棚的面積可以變化,空氣可以全部為室內(nèi)循環(huán)式,也可連通集中式凈化空調(diào)系,潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
局部潔凈工程
4潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。
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