一）建造投資費(fèi)用高
高級(jí)別潔凈室的建造費(fèi)用很高，一般來(lái)說(shuō)，100級(jí)垂直單向流的潔凈室，其室內(nèi)裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調(diào)凈化系統(tǒng)（包括制冷空調(diào)設(shè)備和管道配件、凈化設(shè)備和配件等）的初投資大約為10000元人民幣/m2；如果加上純水制備設(shè)備和系統(tǒng)管道，純氣發(fā)生和系統(tǒng)管道，廢水治理設(shè)備和管道，消防系統(tǒng)，供配電和自控系統(tǒng)，真空清掃系統(tǒng)等等，其單位面積的建造投資費(fèi)用要高達(dá)25000~30000元人民幣/ m2。
就拿已投產(chǎn)的上海華虹NEC超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室舉例來(lái)說(shuō)，華虹NEC為月投片30000片8硅片集成電路前工序生產(chǎn)線，有潔凈室面積約12000m2，其中10000 m2是在中心部位，另2000 m2在邊跨上。在中心部位的10000 m2潔凈室中有4000 m2的1級(jí)、10級(jí)和100級(jí)的垂直單向流潔凈室，另外6000 m2分別為1000級(jí)和10000級(jí)的非單向流潔凈室，總送風(fēng)量約6,400,000 m3/h。于1998年底建成投產(chǎn)。
該項(xiàng)目總投資約100億人民幣，其中動(dòng)力設(shè)備和土建投資為20億人民幣，占總投資的五分之一。單核心部分的10000 m2的潔凈室的建造費(fèi)用就高達(dá)6000萬(wàn)美元（約5億人民幣）（日本三機(jī)株式會(huì)社施工），折合每平方米建造費(fèi)用約50000元人民幣/ m2。
（二）運(yùn)行管理費(fèi)用大
因?yàn)楦呒?jí)別潔凈室凈化風(fēng)量大，新風(fēng)量也大，溫濕度要求嚴(yán)格，所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大，耗電多，運(yùn)行費(fèi)用貴。
還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000 m2潔凈室總的送風(fēng)量為6,400,000 m3/h，輸送凈化空氣的風(fēng)機(jī)耗電量為3840 Kw/h，全年電費(fèi)為1659萬(wàn)元（每度電按0.6元/設(shè)計(jì)），空氣熱濕處理的耗電量約10000 Kw/h，全年電費(fèi)為6000萬(wàn)人民幣。全年空調(diào)凈化系統(tǒng)本身的運(yùn)行費(fèi)用就高達(dá)7659萬(wàn)元人民幣。折合每年單位面積的運(yùn)行費(fèi)用為7659元/m2年。
（三）靈活適應(yīng)性強(qiáng)
因?yàn)椋茖W(xué)技術(shù)的發(fā)展很快，高科技的產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異，像集成電路的發(fā)展2~3年就更新一代，TFT-LCD的發(fā)展速度更快1~2年就上一個(gè)臺(tái)階。這就要求為其服務(wù)的高級(jí)別的潔凈室必須能適應(yīng)其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適應(yīng)性。因?yàn)榻ㄔ煲粋�(gè)潔凈廠房是百年大計(jì)，不是一、二年就會(huì)拆掉重建。因此，在設(shè)計(jì)和建造潔凈廠房時(shí)，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應(yīng)性。從一個(gè)潔凈廠房的靈活適應(yīng)角度，可將其分為三個(gè)層次，第一是不可變的部分。無(wú)論怎樣改都不能改變的部分。如基礎(chǔ)、梁、柱等結(jié)構(gòu)部分；第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護(hù)、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。如動(dòng)力、空氣、水、氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。
（四）安全、可靠性好
從前面（一）、（二）兩條特點(diǎn)可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價(jià)。但是為了生產(chǎn)出高可靠、高質(zhì)量的高科技產(chǎn)品也必須具備這樣的生產(chǎn)環(huán)境。因?yàn)椋ㄔ鞚崈羰业哪康氖菫槭褂�，是為了得到高成品率合格產(chǎn)品。為了達(dá)此目的，設(shè)計(jì)和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風(fēng)速、壓力等所有參數(shù)必須滿足生產(chǎn)工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。這一點(diǎn)絕不能馬虎，更不能打折扣，要萬(wàn)無(wú)一失，只有這樣才能有效益，才能達(dá)到建造潔凈室的目的。
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