基于微機(jī)電系統(tǒng)(MicroelectromechanicalSystem,MEMS)技術(shù)的電磁型器件,特別是采用軟磁薄膜功能材料的電磁器件,如電磁MEMS開關(guān)等,因其工藝復(fù)雜而發(fā)展滯后。其中,電磁MEMS器件的發(fā)展落后于其他類型的MEMS器件,主要在于磁性薄膜材料的微加工工藝標(biāo)準(zhǔn)化程度低,磁性薄膜的形貌和磁性能容易受其他MEMS工藝步驟的影響。本文主要對(duì)射頻(Radio Frequency,RF)微機(jī)MEMS開關(guān)軟磁懸臂梁的制備工藝進(jìn)行研究。
